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반도체 : 0.12μm 설계 규칙을 갖는 DRAM 셀 주요 레이어의 OPC 및 PSM
반도체 : 0.12μm 설계 규칙을 갖는 DRAM 셀 주요 레이어의 OPC 및 PSM
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 반도체 : 0.12μm 설계 규칙을 갖는 DRAM 셀 주요 레이어의 OPC 및 PSM / 박기천(Ki Chon Park) , 오용호(Yong Ho Oh) , 임성우(Sung Woo Lim) , 고춘수(Chun Soo Go) , 이재철(Jai Cheol Lee) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 6-11
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60235260
MARC
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