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공기 중에 노출된 MOCVD TiN 기판이 MOCVD Cu 증착에 미치는 효과
공기 중에 노출된 MOCVD TiN 기판이 MOCVD Cu 증착에 미치는 효과
최정환, | 한국재료학회 | 2000 ,
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