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고집적회로제조에있어서의 Pt전극의 식각기술동향
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김현우 주병선 남병윤 강창진 문주태, | 대한금속.재료학회 | 2001 ,
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차세대 반도체를 위한 탄소 나노튜브(Carbon Nanotube)기술
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여인석, | 대한전자공학회 | 2006 ,
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