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고집적회로제조에있어서의 Pt전극의 식각기술동향
고집적회로제조에있어서의 Pt전극의 식각기술동향
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12251550
- 서명/저자
- 고집적회로제조에있어서의 Pt전극의 식각기술동향 / 김현우 주병선 남병윤 강창진 문주태 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한금속.재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 33-39
- 기타저자
- 김현우 주병선 남병윤 강창진 문주태
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60016987
MARC
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■773 ▼t재료마당▼gVol.14 No.6 2001▼d2001, 10
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