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GOI 제작을 위한 PECVD 산화막이 직접 웨이퍼 접합력에 미치는 효과
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변영태, | 한국물리학회 | 2006 ,
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인 이온주입에 의한 집적 3파장 레이저 구조의 밴드갭 파장이동에 대한 실험적 고찰
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