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GOI 제작을 위한 PECVD 산화막이 직접 웨이퍼 접합력에 미치는 효과
GOI 제작을 위한 PECVD 산화막이 직접 웨이퍼 접합력에 미치는 효과 / 변영태 , 김선호 공저
GOI 제작을 위한 PECVD 산화막이 직접 웨이퍼 접합력에 미치는 효과

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
03744914
저자명  
변영태
서명/저자  
GOI 제작을 위한 PECVD 산화막이 직접 웨이퍼 접합력에 미치는 효과 / 변영태 , 김선호 공저
발행사항  
서울 : 한국물리학회, 2006.
형태사항  
pp. 252-257
기타저자  
김선호
기본자료저록  
새물리 : 제53권 제3호 (2006년 9월) 2006, 09
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60139891

MARC

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