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1 Results:AA:권대갑 PP:한국정밀공학회 AA:김동민 0.78 sec.
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XY 스캐너의 아베 오차 최소화를 위한 최적 설계 및 나노 정밀도의 원자 현미경 피치 측정 불확도 평가
XY 스캐너의 아베 오차 최소화를 위한 최적 설계 및 나노 정밀도의 원자 현미경 피치 측정 불확도 평가
김동민, | 한국정밀공학회 | 2006 ,
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