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XY 스캐너의 아베 오차 최소화를 위한 최적 설계 및 나노 정밀도의 원자 현미경 피치 측정 불확도 평가
XY 스캐너의 아베 오차 최소화를 위한 최적 설계 및 나노 정밀도의 원자 현미경 피치 측정 불확도 평가
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12259071
- 저자명
- 김동민
- 서명/저자
- XY 스캐너의 아베 오차 최소화를 위한 최적 설계 및 나노 정밀도의 원자 현미경 피치 측정 불확도 평가 / 김동민 , 이동연,권대갑 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국정밀공학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 96-103
- 주기사항
- 권말 색인및 참고문헌 수록
- 기타저자
- 이동연,권대갑
- 기본자료저록
- 한국정밀공학회지=Journal of Korean Society for Precision Engineering : Vol. 23 No. 6 (2006년 6월) 2006, 06
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60223576
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