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나노 가스 감지 소자의 특성에 미치는 촉매 구조의 영향
나노 가스 감지 소자의 특성에 미치는 촉매 구조의 영향
홍성제, | 한국전기전자재료학회 | 2005 ,
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질소 첨가에 의한 a-Ta의 안전화 및 확산 방지막으로서의 열적 안정성
질소 첨가에 의한 a-Ta의 안전화 및 확산 방지막으로서의 열적 안정성
배준우, | 대한금속.재료학회 | 2005 ,
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Precise Analysis of H, C, N, and O as Dominant Impurities in Cu Films: Complementary Use of SIMS and GDMS
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Jae-Won Lim, | 대한금속재료학회 | 2005 ,
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음의 기판 바이어스에 의한 탄탈 박막내의 주요불순물의 농도감소
음의 기판 바이어스에 의한 탄탈 박막내의 주요불순물의 농도감소
임재원, Minoru Isshiki, | 대한금속.재료학회 | 2005 ,
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