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유기 전계 발광 디스플레이용 ITO 투명 전도성 박막의 CMP에 관한 연구
유기 전계 발광 디스플레이용 ITO 투명 전도성 박막의 CMP에 관한 연구
조성환 김형제, | 대한기계학회 | 2002 ,
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