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유기 전계 발광 디스플레이용 ITO 투명 전도성 박막의 CMP에 관한 연구
유기 전계 발광 디스플레이용 ITO 투명 전도성 박막의 CMP에 관한 연구
상세정보
MARC
008030801s2002 ULKa a KOR■022 ▼a12264873
■245 ▼a유기 전계 발광 디스플레이용 ITO 투명 전도성 박막의 CMP에 관한 연구▼d조성환 김형제 공저
■260 ▼a서울▼b대한기계학회▼c2002.
■300 ▼app. 969-975
■653 ▼a유기▼aITO▼a전도▼a박막▼aCMP에
■700 ▼a조성환 김형제
■773 ▼t대한기계학회논문집A▼g제26권 제5호 (통권 제200호)(2002년 5월)▼d2002, 05
■SIS ▼aS009361▼b60013871▼h8▼s2


