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Structural and Optical Characterization of Thick GaN Films Grown by the Direct Reaction of Metal Ga and NH₃in CVD Reactor
Structural and Optical Characterization of Thick GaN Films Grown by the Direct Reaction of Metal Ga and NH₃in CVD Reactor
Kee Suk Nahm, Seung Hyun Yang, Sang Hyung Ahn, | 한국화학공학회 | 2000 ,
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Hot Wire CVD법에 의한 수소화된 미세결정 실리콘(μc-Si:H) 박막 증착
Hot Wire CVD법에 의한 수소화된 미세결정 실리콘(μc-Si:H) 박막 증착
이정철, 송진수, 박이준, | 대한전자공학회 | 2000 ,
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Si 기판의 소성변형 효과 보정에 의해 개선된 곡률측정법을 이용한 CVD 다이아몬드 박막의 잔류응력 평가
Si 기판의 소성변형 효과 보정에 의해 개선된 곡률측정법을 이용한 CVD 다이아몬드 박막의 잔류응력 평가
정증현, 김용협, 백영준, | 대한금속.재료학회 | 2000 ,
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CVD 법으로 증착된 PZT 박막의 누설전류 및 강유전 특성
CVD 법으로 증착된 PZT 박막의 누설전류 및 강유전 특성
정수옥, 이원종, | 대한금속.재료학회 | 2000 ,
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