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반도체 : STI - CMP 공정에서 Torn oxide 결함 해결에 관한 연구
반도체 : STI - CMP 공정에서 Torn oxide 결함 해결에 관한 연구
서용진(Yong Jin Seo), | 한국전기전자재료학회 | 2001 ,
462
반도체 / 슬러리와 패드변화에 따른 텅스텐 플러그 CMP 공정의 최적화
반도체 / 슬러리와 패드변화에 따른 텅스텐 플러그 CMP 공정의 최적화
김상용(Sang Yong Kim), | 한국전기전자재료학회 | 2000 ,
463
반도체 / 도핑되지 않은 비정질 실리콘의 고밀도 Cl2/HBr/O2 플라즈마에 의한 식각 시 나칭 효과
반도체 / 도핑되지 않은 비정질 실리콘의 고밀도 Cl2/HBr/O2 플라즈마에 의한 식각 시 나칭 효과
유석빈(Seok Bin Yu), | 한국전기전자재료학회 | 2000 ,
464
솔레노이드 형태의 RF 칩 인덕터에 대한 연구
솔레노이드 형태의 RF 칩 인덕터에 대한 연구
김재욱(Jae Wook Kim), | 한국전기전자재료학회 | 2000 ,
465
탈이온수의 압력과 정제된 N2 가스가 ILD - CMP 공정에 미치는 영향
탈이온수의 압력과 정제된 N2 가스가 ILD - CMP 공정에 미치는 영향
김상용(Sang Yong Kim), | 한국전기전자재료학회 | 2000 ,
466
센서 , 기능성 박막 : RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막 SAW 필터에 관한 연구
센서 , 기능성 박막 : RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막 SAW 필터에 관한 연구
박용욱(Yong Wook Park), | 한국전기전자재료학회 | 2001 ,
467
전자세라믹스 : 자기복조 효과를 이용한 초지향성 음향트렌스듀서 제작
전자세라믹스 : 자기복조 효과를 이용한 초지향성 음향트렌스듀서 제작
고영준(Young Jun Go), | 한국전기전자재료학회 | 2001 ,
468
반도체 : CF4 / Ar 플라즈마 내 Cl2 첨가에 의한 SrBi2Ta2O9 박막의 식각 특성
반도체 : CF4 / Ar 플라즈마 내 Cl2 첨가에 의한 SrBi2Ta2O9 박막의 식각 특성
김창일(Chang Il Kim), | 한국전기전자재료학회 | 2001 ,
469
반도체 : 유도결합 플라즈마에 의한 (Ba,Sr)TiO3 박막의 식각 손상에 관한 연구
반도체 : 유도결합 플라즈마에 의한 (Ba,Sr)TiO3 박막의 식각 손상에 관한 연구
최성기(Sung Ki Choi), | 한국전기전자재료학회 | 2001 ,
470
디스플레이 , 광소자 ( Display , Optical Devices ) : Quantum Nanostructure of InGaAs on Submicron Gratings by Constant Growth Technique
디스플레이 , 광소자 ( Display , Optical Devices ) : Quantum Nanostructure of InGaAs on Submicron Gratings by Constant Growth Technique
Chang Sik Son, | 한국전기전자재료학회 | 2001 ,
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