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Metal CMP 용 컨디셔너 디스크 표면에 존재하는 다이아몬드의 형상이 미치는 패드 회복력 변화
Metal CMP 용 컨디셔너 디스크 표면에 존재하는 다이아몬드의 형상이 미치는 패드 회복력 변화
김규채, | 한국마이크로전자및 패키징학회 | 2006 ,
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국내 건설산업의 CM/PM 활성화를 위한 제도적 개선 방안
국내 건설산업의 CM/PM 활성화를 위한 제도적 개선 방안
최석인, | 대한건축학회 | 2006 ,
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한외여과를 이용한 폐 CMP Slurry의 분리에서 압력의 영향
한외여과를 이용한 폐 CMP Slurry의 분리에서 압력의 영향
홍성호, | 대한상하수도학회 | 2004 ,
4
CMP 공정에서 마찰에너지가 연라결과에 미치는 영향
CMP 공정에서 마찰에너지가 연라결과에 미치는 영향
이현섭. 박범영, 김구연, | 대한기계학회 | 2004 ,
5
CMP 가공기술 및 장치
CMP 가공기술 및 장치
이응숙, | 대한기계학회 | 2000 ,
6
유기 전계 발광 디스플레이용 ITO 투명 전도성 박막의 CMP에 관한 연구
유기 전계 발광 디스플레이용 ITO 투명 전도성 박막의 CMP에 관한 연구
조성환 김형제, | 대한기계학회 | 2002 ,
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