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반도체 / ECR 을 이용한 SF6/O2 가스 플라즈마에 의한 ITO 의 식각 특성 연구
반도체 / ECR 을 이용한 SF6/O2 가스 플라즈마에 의한 ITO 의 식각 특성 연구
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 권광호(Kwang Ho Kwon)
- Title/Author
- 반도체 / ECR 을 이용한 SF6/O2 가스 플라즈마에 의한 ITO 의 식각 특성 연구 / 권광호(Kwang Ho Kwon) ; 강승열(Seung Youl Kang) , 김곤호(Gon Ho Kim) , 염근영(Gon Young Yeom) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2000.
- Material Info
- pp. 563-567
- General Note
- 참고문헌수록
- Added Entry-Personal Name
- 강승열(Seung Youl Kang) , 김곤호(Gon Ho Kim) , 염근영(Gon Young Yeom)
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제13권 제7호 (2000년 7월) 2000, 07
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60235188
MARC
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