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도서명 :
반도체 / ECR 을 이용한 SF6/
O2 가스 플라즈마에 의한 ITO 의 식각 특성 연구
저 자 :
권광호(Kwang Ho Kwon)
청구기호 :
소장처 :
참고자료실(관광학관2층)
대출요구사항 :
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