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반도체 : 유도결합 플라즈마에 의해 식각된 PZT 박막의 식각 Damage 개선
반도체 : 유도결합 플라즈마에 의해 식각된 PZT 박막의 식각 Damage 개선
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 반도체 : 유도결합 플라즈마에 의해 식각된 PZT 박막의 식각 Damage 개선 / 강명구(Myoung Gu Kang) , 김경태(Kyoung Tae Kim) , 김창일(Chang Il Kim) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2001.
- 형태사항
- pp. 551-556
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234955
MARC
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