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도서명 :
반도체 : 유도결합 플라즈마에 의해
식각된 PZT 박막의 식각 Damage 개선
저 자 :
강명구(Myoung Gu Kang)
청구기호 :
소장처 :
참고자료실(관광학관2층)
대출요구사항 :
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