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반도체 ; Ar/CF4 유도결합 플라즈마를 이용한 BET 박막의 식각 메카니즘
반도체 ; Ar/CF4 유도결합 플라즈마를 이용한 BET 박막의 식각 메카니즘
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 반도체 ; Ar/CF4 유도결합 플라즈마를 이용한 BET 박막의 식각 메카니즘 / 임규태 ( Kyu Tae Lim ) , 김경태 ( Kyoung Tae Kim ) , 김동표 ( Dong Pyo Kim ) , 김창일 ( Chang Il Kim ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 298-303
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234745
MARC
008191008s2003 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a임규태 ( Kyu Tae Lim )
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제16권 제4호 (2003년 4월)▼d2003, 04
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014458▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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