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  • 도서명 : 반도체 ; Ar/CF4 유도결합 플라
    즈마를 이용한 BET 박막의 식각 메카니즘
  • 저 자 : 임규태 ( Kyu Tae Lim )
  • 청구기호 :
  • 소장처 :참고자료실(관광학관2층)
  • 대출요구사항 :