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CI2 / CF4 / Ar 유도결합 플라즈마에 의해 식각된 SBT 박막의 표면 손상
CI2 / CF4 / Ar 유도결합 플라즈마에 의해 식각된 SBT 박막의 표면 손상
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- CI2 / CF4 / Ar 유도결합 플라즈마에 의해 식각된 SBT 박막의 표면 손상 / 김동표(Dong Pyo Kim) , 김창일(Chang Il Kim) , 김태형(Tae Hyung Kim) , 이원재(Won Jae Lee) , 유병곤(Byung Gon Yu) , 이철인(Cheol In Lee) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 570-575
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 기타저자
- 김창일(Chang Il Kim) , 김태형(Tae Hyung Kim) , 이원재(Won Jae Lee) , 유병곤(Byung Gon Yu) , 이철인(Cheol In Lee)
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234519
MARC
008191008s2002 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a김동표(Dong Pyo Kim)
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제15권 제7호 (2002년 7월)▼d2002, 07
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014449▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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