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도서명 :
CI2 / CF4 / Ar 유도결합
플라즈마에 의해 식각된 SBT 박막의 표면 손상
저 자 :
김동표(Dong Pyo Kim)
청구기호 :
소장처 :
참고자료실(관광학관2층)
대출요구사항 :
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