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Ar / CF4 / Cl2 플라즈마에 의한 CeO2 박막의 식각 특성 연구
Ar / CF4 / Cl2 플라즈마에 의한 CeO2 박막의 식각 특성 연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- Ar / CF4 / Cl2 플라즈마에 의한 CeO2 박막의 식각 특성 연구 / 장윤성(Yun Seong Chang) , 김동표(Dong Pyo Kim) , 김창일(Chang Il Kim) , 장의구(Eui Goo Chang) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 388-392
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234445
MARC
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