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도서명 :
Ar / CF4 / Cl2 플라즈마에
의한 CeO2 박막의 식각 특성 연구
저 자 :
장윤성(Yun Seong Chang)
청구기호 :
소장처 :
참고자료실(관광학관2층)
대출요구사항 :
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