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논문 : 반도체 ; BCI3/Ne 혼합가스를 이용한 3-5 반도체의 고밀도 유도결합 플라즈마 식각
논문 : 반도체 ; BCI3/Ne 혼합가스를 이용한 3-5 반도체의 고밀도 유도결합 플라즈마 식각
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 논문 : 반도체 ; BCI3/Ne 혼합가스를 이용한 3-5 반도체의 고밀도 유도결합 플라즈마 식각 / 백인규 ( Baeg In Gyu ) , 임완태 ( Im Wan Tae ) , 이제원 ( Lee Je Won ) , 조관식 ( Jo Gwan Sig ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 1187-1194
- 주기사항
- 참고문헌수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60234357
MARC
008191008s2003 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a백인규 ( Baeg In Gyu )
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■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제16권 제12S호 (2003년 12월)▼d2003, 12
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014467▼b60055323▼h8▼s2▼fP
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