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도서명 :
논문 : 반도체 ; BCI3/Ne 혼
합가스를 이용한 3-5 반도체의 고밀도 유도결합 플라즈마 식각
저 자 :
백인규 ( Baeg In Gyu )
청구기호 :
소장처 :
참고자료실(관광학관2층)
대출요구사항 :
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