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Ar 가스 압력과 RF 전력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전기적 및 광학적 특성
Ar 가스 압력과 RF 전력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전기적 및 광학적 특성
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12267945
- Author
- 최용성 ( Choe Yong Seong )
- Title/Author
- Ar 가스 압력과 RF 전력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전기적 및 광학적 특성 / 최용성 ( Choe Yong Seong ) ; 허인성 ( Heo In Seong ) , 이영환 ( Lee Yeong Hwan ) , 박대희 ( Park Dae Hui ) 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- Material Info
- pp. 560-566
- General Note
- 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 허인성 ( Heo In Seong ) , 이영환 ( Lee Yeong Hwan ) , 박대희 ( Park Dae Hui )
- Host Item Entry
- 전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic : 제17권 제5호 (2004년 5월) 2004, 05
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233789
MARC
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