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도서명 :
Ar 가스 압력과 RF 전력에 따른
유도결합형 플라즈마의 전기적 및 광학적 특성
저 자 :
최용성 ( Choe Yong Seong )
청구기호 :
소장처 :
참고자료실(관광학관2층)
대출요구사항 :
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