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Ar 가스 압력과 RF 전력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전기적 및 광학적 특성
Ar 가스 압력과 RF 전력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전기적 및 광학적 특성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- Ar 가스 압력과 RF 전력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전기적 및 광학적 특성 / 최용성 ( Choe Yong Seong ) , 허인성 ( Heo In Seong ) , 이영환 ( Lee Yeong Hwan ) , 박대희 ( Park Dae Hui ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 560-566
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233789
MARC
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