서브메뉴
검색
Ar 가스 압력과 RF 전력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전기적 및 광학적 특성
Ar 가스 압력과 RF 전력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전기적 및 광학적 특성
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- Ar 가스 압력과 RF 전력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전기적 및 광학적 특성 / 최용성 ( Choe Yong Seong ) , 허인성 ( Heo In Seong ) , 이영환 ( Lee Yeong Hwan ) , 박대희 ( Park Dae Hui ) 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 560-566
- 주기사항
- 참고문헌 수록
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60233789
MARC
008191004s2004 ulk aa kor■022 ▼a12267945
■1001 ▼a최용성 ( Choe Yong Seong )
■24510▼aAr 가스 압력과 RF 전력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전기적 및 광학적 특성▼d최용성 ( Choe Yong Seong ) ▼e허인성 ( Heo In Seong ) , 이영환 ( Lee Yeong Hwan ) , 박대희 ( Park Dae Hui ) 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2004.
■300 ▼app. 560-566
■500 ▼a참고문헌 수록
■7001 ▼a허인성 ( Heo In Seong ) , 이영환 ( Lee Yeong Hwan ) , 박대희 ( Park Dae Hui )
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제17권 제5호 (2004년 5월)▼d2004, 05
■856 ▼uhttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS014472▼b60055323▼h8▼s2▼fP
Preview
Export
ChatGPT Discussion
AI Recommended Related Books
Info Détail de la recherche.
- Réservation
- n'existe pas
- My Folder
- Reference Materials for Thesis Writing
- Reference Materials for Research Ethics
- Job-Related Books
