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Pulsed ECR PECVD를 이용한 SiO_x박막의 성장 및 특성분석
Pulsed ECR PECVD를 이용한 SiO_x박막의 성장 및 특성분석
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12250562
- Author
- 이주현
- Title/Author
- Pulsed ECR PECVD를 이용한 SiO_x박막의 성장 및 특성분석 / 이주현 ; 정일채, 채상훈, 서영준, 이영백 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국재료학회, 2000.
- Material Info
- pp. 212-217
- General Note
- 권말 참고문헌 수록
- Added Entry-Personal Name
- 정일채, 채상훈, 서영준, 이영백
- Host Item Entry
- 한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 10, No. 3, (2000 March) 2000, 03
- Electronic Location and Access
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60218989
MARC
008190604s2000 ulk aa kor■022 ▼a12250562
■1001 ▼a이주현
■24510▼a Pulsed ECR PECVD를 이용한 SiO_x박막의 성장 및 특성분석 ▼d이주현▼e정일채, 채상훈, 서영준, 이영백 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2000.
■300 ▼app. 212-217
■500 ▼a권말 참고문헌 수록
■7001 ▼a정일채, 채상훈, 서영준, 이영백
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 10, No. 3, (2000 March)▼d2000, 03
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS014183▼b60055267▼h8▼s2▼fP
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