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  • 도서명 : Pulsed ECR PECVD를 이용
    한 SiO_x박막의 성장 및 특성분석
  • 저 자 : 이주현
  • 청구기호 :
  • 소장처 :참고자료실(관광학관2층)
  • 대출요구사항 :