서브메뉴
검색
BCl₃/H₂/Ar 유도결합 플라즈마를 이용한 GaN의 건식 식각에 관한 연구
BCl₃/H₂/Ar 유도결합 플라즈마를 이용한 GaN의 건식 식각에 관한 연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 김성대
- 서명/저자
- BCl₃/H₂/Ar 유도결합 플라즈마를 이용한 GaN의 건식 식각에 관한 연구 / 김성대 , 정석용, 이병택, 허증수 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2000.
- 형태사항
- pp. 179-183
- 주기사항
- 권말 참고문헌 수록
- 기타저자
- 정석용, 이병택, 허증수
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60218977
MARC
008190604s2000 ulk aa kor■022 ▼a12250562
■1001 ▼a김성대
■24510▼a BCl₃/H₂/Ar 유도결합 플라즈마를 이용한 GaN의 건식 식각에 관한 연구 ▼d김성대▼e정석용, 이병택, 허증수 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2000.
■300 ▼app. 179-183
■500 ▼a권말 참고문헌 수록
■7001 ▼a정석용, 이병택, 허증수
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 10, No. 3, (2000 March)▼d2000, 03
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS014183▼b60055267▼h8▼s2▼fP
