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  • 도서명 : BCl₃/H₂/Ar 유도결합 플라즈마
    를 이용한 GaN의 건식 식각에 관한 연구
  • 저 자 : 김성대
  • 청구기호 :
  • 소장처 :참고자료실(관광학관2층)
  • 대출요구사항 :