서브메뉴
검색
BCl₃ 및 BCl₃/Ar 고밀도 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs 반도체 소자의 건식식각
BCl₃ 및 BCl₃/Ar 고밀도 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs 반도체 소자의 건식식각
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 임완태
- 서명/저자
- BCl₃ 및 BCl₃/Ar 고밀도 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs 반도체 소자의 건식식각 / 임완태 , 백인규, 이제원, 조관식, 전민현 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 635-639
- 주기사항
- 권말 참고문헌 수록
- 기타저자
- 백인규, 이제원, 조관식, 전민현
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60218820
MARC
008190603s2003 ulk aa kor■022 ▼a12250562
■1001 ▼a임완태
■24510▼aBCl₃ 및 BCl₃/Ar 고밀도 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs 반도체 소자의 건식식각 ▼d임완태▼e백인규, 이제원, 조관식, 전민현 공저
■260 ▼a서울▼b한국재료학회▼c2003.
■300 ▼app. 635-639
■500 ▼a권말 참고문헌 수록
■7001 ▼a백인규, 이제원, 조관식, 전민현
■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 13, No. 10, (2003 Octoberl)▼d2003, 10
■856 ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS ▼aS014226▼b60055267▼h8▼s2▼fP
