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  • 도서명 : BCl₃ 및 BCl₃/Ar 고밀도 유
    도결합 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs 반도체 소자의 건식식각
  • 저 자 : 임완태
  • 청구기호 :
  • 소장처 :참고자료실(관광학관2층)
  • 대출요구사항 :