MARC

 008190603s2003        ulk                          aa    kor
■022    ▼a12250562
■1001  ▼a김중정
■24510▼aSi  기판에서  원자층  화학  기상  증착법으로  제조된  Al₂O₃  및  ZrO₂  유전  박막의  결정학적  특성  및  계면  구조  평가  ▼d김중정▼e양주모,  임관용,  조흥재,  김원,  박주철,  이순영,  김정선,  김근홍,  박대규  공저
■260    ▼a서울▼b한국재료학회▼c2003.
■300    ▼app.  497-502
■500    ▼a권말  참고문헌  수록
■7001  ▼a양주모,  임관용,  조흥재,  김원,  박주철,  이순영,  김정선,  김근홍,  박대규
■773    ▼t한국재료학회지(Korean  Journal  of  Materials  Research)▼gVol.  13,  No.  8,  (2003  August)▼d2003,  08
■856    ▼uhttp://www.mrs-k.or.kr
■SIS    ▼aS014224▼b60055267▼h8▼s2▼fP

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