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  • 도서명 : Si 기판에서 원자층 화학 기상 증착
    법으로 제조된 Al₂O₃ 및 ZrO₂ 유전 박막의 결정학적 특성 및 계면 구조 평가
  • 저 자 : 김중정
  • 청구기호 :
  • 소장처 :참고자료실(관광학관2층)
  • 대출요구사항 :