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ECR plasma로 전처리된 Cu seed층 위에 전해도금 된 Cu 막에 대한 annealing의 효과
ECR plasma로 전처리된 Cu seed층 위에 전해도금 된 Cu 막에 대한 annealing의 효과
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 이한승
- 서명/저자
- ECR plasma로 전처리된 Cu seed층 위에 전해도금 된 Cu 막에 대한 annealing의 효과 / 이한승 , 권덕렬, 박현아, 이종무 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 174-179
- 주기사항
- 권말 참고문헌 수록
- 기타저자
- 권덕렬, 박현아, 이종무
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60218651
MARC
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■773 ▼t한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research)▼gVol. 13, No. 3, (2003 March)▼d2003, 03
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