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  • 도서명 : ECR plasma로 전처리된 Cu
    seed층 위에 전해도금 된 Cu 막에 대한 annealing의 효과
  • 저 자 : 이한승
  • 청구기호 :
  • 소장처 :참고자료실(관광학관2층)
  • 대출요구사항 :