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반응성 CVD를 이용한 다결정 실리콘 기판에서의 CoSi₂ layer의 성장거동과 열적 안정성에 관한 연구
반응성 CVD를 이용한 다결정 실리콘 기판에서의 CoSi₂ layer의 성장거동과 열적 안정성에 관한 연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12250562
- 저자명
- 김선일
- 서명/저자
- 반응성 CVD를 이용한 다결정 실리콘 기판에서의 CoSi₂ layer의 성장거동과 열적 안정성에 관한 연구 / 김선일 , 이희승, 박종호, 안병태 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국재료학회, 2003.
- 형태사항
- pp. 1-5
- 주기사항
- 권말 참고문헌 수록
- 기타저자
- 이희승, 박종호, 안병태
- 원문정보
- url
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60218578
MARC
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