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도서명 : 반응성 CVD를 이용한 다결정 실리콘
기판에서의 CoSi₂ layer의 성장거동과 열적 안정성에 관한 연구

저 자 : 김선일

청구기호 :

소장처 :참고자료실(관광학관2층)

대출요구사항 :