자료유형  

 기사

ISSN  

12250562

저자명  

박연규

서명/저자  

반응성 스퍼터링법에서의 RF전력, 기판온도 및 가스유량비가 WCx막의 기계적 특성에 끼치는 효과 / 박연규 , 이종무 공저

발행사항  

서울 : 한국재료학회, 2005.

형태사항  

pp. 621-625

주기사항  

권말 색인및 참고문헌수록

기타저자  

이종무

기본자료저록  

한국재료학회지(Korean Journal of Materials Research) : Vol. 15, No. 10, (2005 Octoberl) 2005, 10

원문정보  

 url

모체레코드  

모체정보확인

Control Number  

kjul:60217545