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도서명 : 반응성 스퍼터링법에서의 RF전력, 기
판온도 및 가스유량비가 WCx막의 기계적 특성에 끼치는 효과

저 자 : 박연규

청구기호 :

소장처 :참고자료실(관광학관2층)

대출요구사항 :