MARC

 008060515s2006        ULKa    a                          KOR
■022    ▼a12296368
■245    ▼aRF  마그네트론  스퍼터링  공정  조건에  따른  AIN  박막의  배향성,  표면  거칠기  및  압전  특성에  관한  연구▼d방정호,  장동훈,  강성준,  김동국,  윤영섭  공저
■260    ▼a서울▼b대한전자공학회▼c2006.
■300    ▼app.  1-7
■653    ▼aRF▼a스퍼터링▼a공정▼a조건▼a박막▼a배향▼a표면▼a압전▼a특성
■700    ▼a방정호,  장동훈,  강성준,  김동국,  윤영섭
■773    ▼t전자공학회논문지SD(Semiconductor  and  Devices)  :  반도체▼g제43권  제4호  (2006  4)▼d2006,  04
■URL    ▼ahttp://ieek.or.kr
■SIS    ▼aS025135▼b60014354▼h8▼s2

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