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  • 도서명 : RF 마그네트론 스퍼터링 공정 조건에
    따른 AIN 박막의 배향성, 표면 거칠기 및 압전 특성에 관한 연구
  • 저 자 : 방정호, 장동훈, 강성준, 김동국, 윤영섭
  • 청구기호 :
  • 소장처 :참고자료실(관광학관2층)
  • 대출요구사항 :