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Au-Sn 공정 접합을 이용한 RF MEMS 소자의 Hermetic 웨이퍼 레벨 패키징
Au-Sn 공정 접합을 이용한 RF MEMS 소자의 Hermetic 웨이퍼 레벨 패키징
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12269360
- 서명/저자
- Au-Sn 공정 접합을 이용한 RF MEMS 소자의 Hermetic 웨이퍼 레벨 패키징 / Qian Wang, 김운배, 좌성훈, 정규동, 황준식, 이문철, 문창렬, 송인상 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국마이크로전자및 패키징학회, 2005.
- 형태사항
- pp. 197-206
- 기본자료저록
- 마이크로전자 및 패키징 학회지=Journal of the Microelectronics and Pack : 2005 Vol. 12 No.3 ((36)) 2005, 09
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60075311
MARC
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