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박막 게이트 산화막을 갖는 n-MOSFET에서 SILC 및 Soft Breakdown 열화동안 나타나는 결함 생성
박막 게이트 산화막을 갖는 n-MOSFET에서 SILC 및 Soft Breakdown 열화동안 나타나는 결함 생성 ...
박막 게이트 산화막을 갖는 n-MOSFET에서 SILC 및 Soft Breakdown 열화동안 나타나는 결함 생성

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
12296368
서명/저자  
박막 게이트 산화막을 갖는 n-MOSFET에서 SILC 및 Soft Breakdown 열화동안 나타나는 결함 생성 / 이재성 저
발행사항  
서울 : 대한전자공학회, 2004.
형태사항  
pp. 1
키워드  
박막 게이트 산화 NMOSFET에서 SILC SOFT BREAKDOWN 열화 동안 나타 결함 생성
기타저자  
이재성
기본자료저록  
전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제41권 제8호 (2004 8) 2004, 08
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60047139

MARC

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