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박막 게이트 산화막을 갖는 n-MOSFET에서 SILC 및 Soft Breakdown 열화동안 나타나는 결함 생성
박막 게이트 산화막을 갖는 n-MOSFET에서 SILC 및 Soft Breakdown 열화동안 나타나는 결함 생성
상세정보
MARC
008050801s2004 ULKa a KOR■022 ▼a12296368
■245 ▼a박막 게이트 산화막을 갖는 n-MOSFET에서 SILC 및 Soft Breakdown 열화동안 나타나는 결함 생성▼d이재성 저
■260 ▼a서울▼b대한전자공학회▼c2004.
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■700 ▼a이재성
■773 ▼t전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체▼g제41권 제8호 (2004 8)▼d2004, 08
■SIS ▼aS010821▼b60014354▼h8▼s2


