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Ru-MOCVD를 위한 TaSiN막 표면의 ECR 플라즈마 및 Pd 스퍼터링 전처리 세정효과에 관한 연구
Ru-MOCVD를 위한 TaSiN막 표면의 ECR 플라즈마 및 Pd 스퍼터링 전처리 세정효과에 관한 연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 02533847
- 서명/저자
- Ru-MOCVD를 위한 TaSiN막 표면의 ECR 플라즈마 및 Pd 스퍼터링 전처리 세정효과에 관한 연구 / 임종민, 박현아, 엄태종 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한금속.재료학회, 2004.
- 형태사항
- pp. 432-437
- 기타저자
- 임종민, 박현아, 엄태종
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60046444
MARC
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