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  • 도서명 : Ru-MOCVD를 위한 TaSiN막
    표면의 ECR 플라즈마 및 Pd 스퍼터링 전처리 세정효과에 관한 연구
  • 저 자 : 임종민, 박현아, 엄태종
  • 청구기호 :
  • 소장처 :참고자료실(관광학관2층)
  • 대출요구사항 :